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Axio Imager Vario


Axio Imager Vario pour échantillons de grande taille

Examinez des échantillons de grande taille – de manière automatisée et compatible salle blanche

Analysez les capteurs MEMS les plus petits jusqu’aux wafers XXL ou même des écrans plats complets sans les détruire. Avec une hauteur d’échantillon pouvant atteindre 254 mm et un espace latéral maximum de 300 mm, Axio Imager Vario vous permet d’examiner la gamme d’échantillons la plus étendue. La conception de la colonne garantit une excellente stabilité. Prenez le contrôle de vos wafers en salle blanche – Axio Imager Vario est certifié selon DIN EN ISO 14644-1 et satisfait aux exigences de Classe 5. Un entraînement Z motorisé en complément de la mise au point automatique

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  • Profitez d’une hauteur maximale d’échantillon jusqu’à 254 mm et d’un espace latéral maximum de 300 mm x 300 mm. Choisissez entre deux colonnes manuelles et une motorisée avec commande à 3 touches selon les normes industrielles.
  • Axio Imager Vario effectue la mise au point sur l’échantillon avec le revolver. Vous pouvez ainsi obtenir une précision et une répétabilité de mise au point élevés, surtout avec des échantillons lourds.
  • Avec l’autofocus matériel, vous bénéficiez d’une mise au point rapide et précise sur des échantillons réfléchissants qui présentent un faible contraste.
  • En combinant Axio Imager Vario avec LSM 700, vous analysez des échantillons sensibles en haute résolution sans contact.
  • Axio Imager Vario est certifié conformément à la norme DIN EN ISO 14644-1 et répond aux exigences de salle blanche de classe 5.

La production de semi-conducteurs et l’inspection des wafers ont lieu dans des salles blanches. Les salles blanches sont classifiées selon la norme DIN EN ISO 14644-1, en les différenciant en fonction du nombre et de la taille des particules par m³. Axio imageur Vario est certifié selon cette norme et répond aux exigences des salles blanches de classe 5. Une salle blanche de classe ISO 5 est équivalente à la classe 100 de l’ancienne norme FED STD 209E (1992). Utilisez le kit de salle blanche, contenant une tourelle porte-objectifs x7, une protection contre les particules et une protection anti-éternuement.

Combinez votre Axio imageur Vario avec l’autofocus matériel et bénéficiez d’une mise au point rapide et précise sur des échantillons réfléchissants avec une plage de verrouillage jusqu’à 12000 µm. Vous travaillez avec un système de mise au point offrant une haute précision de 0,3 profondeur focale de l’objectif. Utilisez la mise au point automatique pour vos applications en lumière réfléchie et en lumière transmise, à champ clair, champ sombre, contraste de polarisation, contraste interférentiel différentiel et éclairage oblique.

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